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  • - 에어베어링을 적용한 고정밀 발란싱머신 회전축 지지대 (특허 제 10-0877120)
  • - 회전자 일체형 초고속 회전축의 제조방법 (특허 제 10-104-1389)
  • - 하이브리드형 정압에어베어링 (특허 제 10-1143425)
  • - 온도조절형 웨이퍼용 진공척 제조장치 (특허 제 10-1176821)
  • - 에어베어링 스핀들의 이물질 유입방지구조 (특허 제 10-1181705)
  • - 초고속 에어베어링 스핀들의 트러스트베어링 냉각구조 (특허 제 10-1183599)
  • - 스토퍼가 장착된 웨이퍼 다이싱용 에어베어링 스핀들 (특허 제 10-1256358)
  • - 몰드형 웨이퍼 제조용 진공척 (특허 제 10-1360065)
  • - 내열,내마모,저마찰 특성을 가지는 코팅제 및 이의코팅방법 (특허 제 10-0655366)
  • - 초음파 에어베어링 스핀들(특허 제 10-1604989)
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